Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備
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海目星激光
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海目星-產(chǎn)品
OVERVIEW
產(chǎn)品簡介
Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備
此設(shè)備?于Micro LED 巨量轉(zhuǎn)移和修復(fù)制程，可實現(xiàn)對任意尺?任意間距RGB芯?的選擇性轉(zhuǎn)移，在修復(fù)段?于芯?單點轉(zhuǎn)移及修復(fù)。
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轉(zhuǎn)移前后對比
ADVANTAGE
產(chǎn)品優(yōu)勢
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模塊式設(shè)計，上下料和轉(zhuǎn)移主體獨?拆分。
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機械??動上下料，設(shè)備綜合精度≤±1μm。
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搭載激光出光控制系統(tǒng)、?質(zhì)量光束整形系統(tǒng)、光斑??可調(diào)，均?性≥95%。
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基本信息
- 設(shè)備尺寸：長2250mmx寬1850mmx高2450mm
- 最大行程：XI X2軸400mm；Y軸450mm
- 設(shè)備重量：3800Kg
- 加工類型 ：Micro LED芯?巨量轉(zhuǎn)移/單點修復(fù)轉(zhuǎn)移
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產(chǎn)品性能
- 運動平臺重復(fù)定位精度：±0.75μm
- 運動平臺定位精度：±1μm
- 運動平臺運動速度：≤500mm/s
- Z軸重復(fù)定位精度：±1μm
- Z軸定位精度：±1.5μm
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